Sputterende doelen

Sputterdoelen worden gebruikt in fysische dampafzettingsprocessen (PVD) voor de fabricage van dunne films. Het portfolio omvat hoog-zuivere gouddoelen, platinadoelen en rutheniumdoelen, ter ondersteuning van halfgeleiderapparaten, elektronische componenten, sensoren en functionele coatings.
Door middel van gecontroleerde zuiverheidsniveaus, microstructuurbeheer en nauwkeurige doelfabricage zorgen de materialen voor stabiel sputtergedrag en consistente filmafzettingsprestaties bij micro-elektronische productie.

Aanvraag sturen

Belangrijkste producten

Gouddoelen met hoge-zuiverheid

Lees meer

Platina doelstellingen

Lees meer

Ruthenium-doelen

Lees meer

Functies

Wij bieden edelmetaaldoelen met uniforme interne microstructuren om de vorming van deeltjes tijdens het sputteren te minimaliseren, waardoor een continue en stabiele filmkwaliteit wordt gegarandeerd.

Hoge zuiverheid
Hoge dichtheid
Uniforme korrelstructuur

Stabiele sputterprestaties
Goede filmconsistentie
Aanpasbare maten en verlijming

Sputterdoelen Materiaaleigenschappen

Categorie	Beschrijving
Materiële systemen	Doelstellingen voor de afzetting van edele metalen
Productformulieren	Planaire doelen en aangepaste geometrieën
Legering systemen	Materialen van hoog-zuiver goud, platina en ruthenium
Prestatie	Stabiel sputterproces met betrouwbare filmkwaliteit en hechting
Processen	Fysische dampafzetting (PVD)
Dimensionale controle	Precisievormen met gecontroleerde toleranties
Aanbodformaat	Standaardafmetingen en uitrusting-gebaseerd maatwerk

Sputterdoelen Materiaaltoepassingen in verschillende industrieën

Halfgeleiders en IC's:Gebruikt voor de afzetting van geleidende lagen, barrièrelagen en zaadlagen bij de productie van wafels.
Magnetische opslagmedia:Ruthenium (Ru)-doelen worden voornamelijk toegepast bij de voorbereiding van onderlagen voor magnetische opnamemedia en HDD's.
Sensoren & MEMS:Platina (Pt) en gouden (Au) doelen zijn geschikt voor dunne-filmafzetting op sensorelektroden, MEMS en precisietestcomponenten.
Opto-elektronische apparaten:Gebruikt voor metallisatiecoatings en elektrodeafzetting in optische componenten en licht-apparaten.
Precisie elektronische componenten:Voldoet aan de productievereisten voor oppervlaktegeleiding, bescherming en functionele coatings op veel elektronische componenten.